Для разных вакуумных систем применяется устройство -вакуумный затвор. Он позволяет герметизировать и отделять элементы в конструкции. В результате обеспечивается требуемая откачка и напускается атмосфера. При выборе оборудования важно подробней узнать технические характеристики.
Содержание:
- Особенности вакуумных затворов
- Виды затворов
- Особенности устройства
- Характеристики
- Производители вакуумных затворов
Особенности вакуумных затворов
Аппараты имеют следующие параметры – герметичность, сечение, давление и вид фланца. Чтобы достичь высокого вакуума, нужно нагреть механизм. Поэтому температурные значения стоит отнести к основным параметрам.
Приспособления бывают с электромеханическим приводом, ручным и пневматическим. Габариты фланца влияют на скорость его срабатывания. Затворы отличаются различием в устройстве, которые позволяют получить нужные показатели.
Особенности вакуумных затворов
Вакуумные затворы с успехом применяют в производстве плоских дисплеев, нанесении покрытий, металлургической сфере и полупроводниковых областях. Устройство имеет следующие особенности:
- Специальный замок фиксирует закрытое положение затвора;
- Герметичная изоляция линейного привода;
- Легкость сервисного обслуживания. Все внутренние детали можно без проблем разобрать;
- Большой ассортимент приводов для всех видов затворов.
Вакуумные затворы позволяют отделить пространство, наполненное газами. В зависимости от параметров перекрываемых проемов затворы отличаются видом управления и особенностями устройства.
Виды затворов
В зависимости от приводного клапана, затворы бывают разных видов. Электропневматические модели применяются в автоматизированных системах. В этом случае используются уплотнители из резины. Передвижение механизмов осуществляется через поступательные движения. Этот тип клапана считается высокоскоростным, благодаря работе пневматического привода.
Электромагнитные затворы отличаются отсутствием сжатого воздуха. В них нет механизмов управления и предусмотрен короткий период срабатывания. Благодаря таким характеристикам, затворы применяются в аварийных клапанах. При открытии применяется вытяжное рыле, а при закрытии пружины возврата.
Виды затворов
Электромеханическая конструкция отличается устойчивостью, прочностью и надежностью. Позволяет вручную управлять системой и выполнять регулировку времени срабатывания. Выбор варианта затвора зависит от периодов срабатывания, параметров прохода, значения герметизации и варианта применяемой энергии.
Особенности устройства
Во всех видах затвора используется задвижка, корпус и привод. Чтобы поменять положение задвижки применяется привод. Специальный датчик позволяет регулировать положение задвижки. Элемент представляет собой диск с клапаном, который открывает или закрывает входное отверстие.
Корпус насоса – это герметичная конструкция, которая крепится к вакуумной камере или фиксируется на хомуты, струбцины и болты. Для уплотнения крышки задвижки используются эластомерные уплотнения.
Особенности устройства
Характеристики
При выборе затвора нужно учитывать расположение задвижки при выключенном питании. Если оборудование ручное, при работе с турбомолекулярными и диффузионными насосами есть риск аварийной ситуации. В затворе с пневматическим приводом заслонка ставится в нормальное положение при проблемах с электропитанием.
Стоит учитывать, что в затворах могут возникнуть течи. Это зависит от состояния задвижки и степени загрязнения уплотнений. В этом случае необходимо оперативно очистить уплотнение затвора без отсоединения корпуса от камеры и насоса. Допустимая температура прогрева затвора зависит от вариантов используемых уплотнений.
Характеристики
Затворы с минимальным количеством деталей способствуют уменьшению газовыделения и повышает скорость откачки.
При выборе затвора, нужно обратить внимание на следующие эксплуатационные характеристики:
- Уровень герметичности, определяемый проходящими потоками газа;
- Проводимость определяется при открытом положении. Значение равно отношению потока газа к разности давлений в полости вакуумного клапана;
- Скорость действия зависит от периода герметичного перекрытия;
- Ресурс работы зависит от циклов перекрытий и качественного обеспечения герметизации.
Основная задача вакуумного затвора – создание герметичности при определенных значениях давления. Их применяют в ситуациях, когда важно сохранить вакуумное пространство. Используют устройства и для изоляции части системы. Затворы актуальны в конструкциях с сильными скачками давления.
Производители вакуумных затворов
Оборудование производится зарубежными и отечественными производителями. King Lai из Тайваня предлагает продукцию, обеспечивающую максимальную герметизацию. «HTC» выпускает богатый ассортимент по приемлемым ценам. Oerlikon Leybold Vacuum предлагает не только комплектующие, но и полноценные вакуумные системы.
Производители вакуумных затворов
Из отечественных производителей стоит выделить АО «Вакууммаш». Компания реализует вакуумное оборудование, а также проекты в соответствии с требованиями заказчиков.
От правильного выбора вакуумного затвора зависит работа вакуумной установки и необходимость в проведении ремонтных работ.